ピュアロンの発想-それは流れる力

分子フロー

分子フローコントローラー

標準コンダクタンスエレメント(別売)を用いて、真空容器內に既知の流量の各種気體を導入することができる裝置です。

標準コンダクタンスエレメント(校正リークエレメント/極微小流量エレメント)

ピュアロンのSCEシリーズは、各種ガスを粘性流の狀態から中間流を介さずに直接分子流として真空チャンバ內に導入することを可能にした製品であり、従來の校正リークに代わる機器として使用することができます。

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